高純氣體的工藝施工概要。近10年來，隨著更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產，對高純氣體潔凈度的要求，已不亞于對純度和干燥度的要求，凡工藝氣體，無一不對其中的粒子提出限制。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈度是三項重要的標度。由于高純度氣體的使用地點、性質、工況(如溫度、壓力等)都不完全一致，所以，如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度)，還沒有一個嚴格而明確的概念。