高純氣體的供應系統介紹。將高純氣體鋼瓶設置在用氣設備附近直接供氣，常用于用氣量很少的場所，《規范》規定，當日用氣量不超過一瓶(指水容積不超過40L的鋼瓶)時，氣瓶可設置在潔凈室內，但必須采取不積塵和易于清潔的措施，若工藝對高純氣體要求較為嚴格時，比如氣體中總雜質含量≤1.0×10-6時，還需要在氣瓶與用氣設備之間設置末端氣體提純裝置，包括高精度氣體過濾器，以確保供氣質量。