高純氣體指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于991999%的為高純氣體;而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧;對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。